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PVD晶圓自動倒片機FST-SC200W

應用于LED半導體外延工藝段，可實現(xiàn)晶圓從原料倉至PVD工序之間以及PVD工序到MOCVD工序之間的周轉。主要由Foup交替上料區(qū)、Cassette立體倉儲、機器人取放盤機構、機器人自動上下片組成。
設備參數(shù)
類別內容
設備節(jié)拍
288pcs/h
產品良率≧99.5%
設備精度晶圓片上下片重復定位精度可達到±0.1mm，±0.15度以內
設備尺寸L2.8m*W1.5m**H2.45m


設備優(yōu)勢

使用場景：外延段PVD工藝生產前后

全自動：自動上盤、盤尋邊、晶圓mapping、晶圓尋邊、Wafer ID讀取、自動上片、同步實現(xiàn)自動下片、Wafer ID與盤SN綁定LINK后上傳至MES

高配置：CCD自動檢測、著名品牌工業(yè)機器人、全過程伺服控制系統(tǒng)、全過程智能檢測以及智能化操作系統(tǒng)等

高精度：晶圓片上下片重復定位精度可達到±0.1mm，±0.15度以內

人性化：成熟先進的自動控制技術，增加智能監(jiān)控，智能語音提醒，既滿足工業(yè)生產也兼顧人因工程

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